Токио, 13 апреля 2026 г. – По мере того как мировая полупроводниковая промышленность движется к передовым технологическим узлам и интеллектуальному производству, полированные круглые пластины, основной основополагающий материал для производства полупроводников, переживают быструю технологическую модернизацию и расширение рынка. Отраслевые данные Mordor Intelligence показывают, что объем мирового рынка полированных пластин, как ожидается, достигнет 9,26 миллиардов квадратных дюймов в 2026 году, а совокупный годовой темп роста (CAGR) составит 4,88% с 2026 по 2031 год, что обусловлено растущим спросом на логические чипы, устройства памяти и силовые полупроводники. В отрасли наблюдается переход к более крупным размерам, более высокой чистоте и более низкой плотности дефектов, в то время как экологически чистые и интеллектуальные производственные технологии меняют промышленный ландшафт.
Ведущие зарубежные предприятия добились значительных прорывов в технологии планаризации — ключевом процессе производства полированных круглых пластин. Недавно компания Canon Inc. анонсировала первую в мире технологию адаптивной планаризации (IAP) на основе струйной печати, которая использует опыт компании в области наноимпринтной литографии для достижения сверхточного сглаживания пластин. В отличие от традиционных методов химико-механической полировки (CMP), которые включают несколько сложных этапов, технология IAP использует струйную систему для дозирования светоотверждаемого материала точно в соответствии с топографией поверхности пластины, а затем прижимает плоскую стеклянную пластину для выравнивания поверхности. Этот инновационный процесс может уменьшить топографическую неровность до 5 нм или менее на пластинах диаметром 300 мм за один процесс штамповки, закладывая прочную основу для передового производства полупроводников. Canon планирует коммерциализировать оборудование, интегрированное с технологией IAP, в 2027 году, ориентируясь на производство логических устройств и устройств памяти.
Что касается расширения портфеля продукции, финская компания Okmetic недавно расширила свое предложение, включив в него полированные пластины диаметром 300 мм и эпитаксиальные пластины диаметром 150–300 мм через квалифицированную партнерскую сеть, продолжая при этом собственное производство современных кремниевых пластин диаметром 150–200 мм и связанных пластин SOI. Эта гибридная модель производства повышает гибкость поставок, позволяя Okmetic обслуживать разнообразные приложения, такие как память, логика, питание и радиочастотные устройства, сохраняя при этом мощную поддержку своих основных рынков, включая МЭМС и датчики. Расширенные мощности компании по производству полированных пластин толщиной 200 мм были запущены в серийное производство в начале 2026 года, что соответствует отраслевым тенденциям к устойчивости цепочки поставок и использованию нескольких источников.
Отечественные предприятия в Китае ускоряют локализацию производства высококачественных полированных круглых пластин, руководствуясь стратегией самообеспеченности полупроводниковой отрасли страны. Крупные игроки, такие как Shanghai Silicon Industry Group, Zhonghuan Semiconductor и Leon Micro, увеличили производственные мощности по производству 12-дюймовых (300 мм) полированных пластин. По состоянию на конец 2025 года ежемесячная производственная мощность 12-дюймовых полированных пластин в Китае достигла 120 миллионов штук, а в 2026 году ожидается, что она превысит 150 миллионов штук. Эти пластины, изготовленные из кремниевых слитков FZ, CZ или MCZ посредством процессов резки, шлифования и полировки, соответствуют самым высоким стандартам плоскостности и качества поверхности и классифицируются на легколегированные и сильнолегированные типы в зависимости от концентрация примеси. Уровень внутренней самообеспеченности 12-дюймовыми полированными пластинами увеличился с менее чем 5% в 2021 году до 22,3% в 2024 году, хотя в отношении чистоты и плотности дефектов высококачественной продукции сохраняются отставания от мировых лидеров.
Инновации в полировальных материалах также способствуют развитию промышленности. Chempower Corp., американская компания по производству полупроводниковых материалов, недавно запустила Chakra, технологию полировки без абразива, которая заменяет традиционные абразивные суспензии функциональными полировальными подушечками и более чистыми химическими процессами. Эта технология уменьшает повреждение поверхности, обеспечивает более однородную поверхность и сокращает количество сточных вод, решая проблемы с плотностью дефектов в передовом производстве полупроводников. Избегая использования опасных материалов, таких как бензотриазол (БТА), и обеспечивая более легкую утилизацию сточных вод и растворенных солей меди, Chakra также повышает устойчивость отрасли, согласуясь с глобальными целями низкоуглеродного развития.
Структура рыночного спроса развивается с расширением последующих приложений. Сегмент полированных пластин толщиной 300 мм, на долю которого в 2025 году приходилось 73,39% мирового рынка, прогнозируется среднегодовой рост на 5,55% до 2031 года, что обусловлено переходом литейных предприятий на техпроцессы менее 3 нм и увеличением производства корпусов сквозной кремниевой конструкции (TSV). Ожидается, что в 2026 году объем рынка полупроводниковых полированных пластин в Китае превысит 20 миллиардов юаней, при этом на 12-дюймовые продукты придется около 55% общего спроса. Азиатско-Тихоокеанский регион остается крупнейшим и наиболее быстрорастущим рынком благодаря мощной базе контрактного производства.
Эксперты отрасли отметили, что индустрия полированных круглых пластин переживает критический период технологических итераций и оптимизации цепочек поставок. Несмотря на значительный прогресс в производстве крупногабаритных пластин и технологии полировки, проблемы остаются, включая зависимость от импортного высококачественного полировального оборудования и пробелы в основных материалах. В будущем интеграция новых технологий, таких как искусственный интеллект и Интернет вещей, еще больше повысит точность полировки и эффективность производства. Благодаря постоянным инвестициям в исследования и разработки и усилению промышленного сотрудничества глобальная индустрия полированных круглых пластин продолжит поддерживать развитие полупроводникового сектора, обеспечивая инновации в бытовой электронике, автомобильной электрификации и промышленном Интернете вещей.
ALIGHT-PHOTONICS